5.1.5 Merkmal Dichte
Zusammen mit der Größe der Strukturelemente beschreibt die Dichte
die Feinheit der Topografie. Die Dichte einer Topografie gibt an, wie eng
die Strukturmerkmale beieinander liegen. Bei Topografien mit isolierten
Strukturelementen läßt sich die Dichte leicht anhand der Abstände
der Strukturelemente beurteilen. Bei SBT und EDT-Topografien überlappen
die Strukturelemente im allgemeinen stark. Dichte und Größe
der Strukturelemente sind so eng miteinander verknüpft, daß
das Merkmal Feinheit zur Beschreibung ausreicht.
Dichte Topografie
Die Strukturelemente liegen dicht zusammen oder überlappen.
Weite Topografie
Bei einer weiten Topografie weisen die Strukturelemente größere
Abstände auf.
Überlappende Topografie
Die Strukturelemente sind so dicht angeordnet, daß sie ineinanderfließen.
Isolierte Topografie
Bei einer isolierten Topografie sind die Strukturelemente voneinander
getrennt.
Oberflächenkenngrößen
Bei deterministischen Strukturen kann der Abstand der Strukturelemente
direkt oder anhand der Abstände der Peaks im Fourier-Spektrum gemessen
und z.B. in Strukturelementen pro mm² angegeben werden. Für stochastische
Strukturen ist die Dichte nur zu beurteilen werden, wenn die Strukturelemente
eindeutig zählbar sind.
Tabelle 8: Beispieloberflächen für das Merkmal
Dichte